對(duì)探針卡機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)行應(yīng)力和熱力仿真,使探針卡的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)具備穩(wěn)定性和可靠性,使探針具備高、低溫測(cè)試能力。
通過(guò)對(duì)探針針痕進(jìn)行測(cè)試,避免探針在使用過(guò)程中刺穿晶圓焊盤(pán),使晶圓在安全可控的狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)試。
分析探針的高速性能,優(yōu)化其外形、尺寸和材質(zhì),使探針具備高速測(cè)試能力,在高速探針卡項(xiàng)目中發(fā)揮重要作用。
對(duì)探針的力學(xué)性能進(jìn)行測(cè)試,使探針在設(shè)定的行程下具備穩(wěn)定的力學(xué)能力;對(duì)探針的CCC進(jìn)行測(cè)試,使探針具備通流能力。